549 電子工学549.8 半導体工学

半導体工学

 半導体工学は、半導体素子の設計・製造、寿命などの性能評価、半導体を利用した計測などを取り扱う工学である。下記のように多様な技術が関係する。.

設計

回路設計

  • CAD
  • EDA

プロセス・デバイス構造の設計(シミュレーション)

  • TCAD (プロセスシミュレーション、デバイスシミュレーション)

製造用機器の設計

製造技術

  • チョクラルスキー法
  • ゾーンメルト法
  • 拡散(熱拡散)・酸化(熱酸化)
  • 蒸着
  • スパッタリング
  • スピンコート
  • CVD(化学気相成長法)
  • PVD(物理気相成長法)
  • MBE(分子線エピタキシー法)
  • エピタキシャル成長
  • イオン注入
  • フォトリソグラフィ(パターニング)
  • エッチング
  • FIB(Focused Ion Beam)
  • CMP(化学機械研磨)
  • メタライズ(配線)
    • 多層配線
  • 製造時の欠陥検出
    • テストパターン
    • 工程管理
  • ダイシング
  • パッケージング(組立)

半導体の物性・特性の測定手段

 半導体の示す様々な物性は、研究開発や製造時の特性評価などにも利用されるほか、多くは半導体の用途にも深く関係する。

  • 電気伝導度
  • ホール効果
  • PN接合やショットキー接合の特性:
    • 電流-電圧特性、空乏層容量、ゼーベック効果・ペルティエ効果、光起電力効果、エレクトロルミネセンス
  • 組成や不純物:EDX、EPMA、SIMS、ICP
  • 構造:光学顕微鏡、XRD、RBS、ラマン効果、SEM、TEM、AFM、XRF、SPM、SCM
  • バンド構造など:光電効果・光電子分光、逆光電子分光、DLTS、フォトルミネセンス

製品の性能評価

  • 電気的特性
    • DC特性
    • AC特性
  • 寿命
  • 信頼性






量子ドットの基礎と応用

舛本 泰章【著】          
裳華房(2015/11発売)          
サイズ A5判/ページ数 312p/高さ 21cm          
商品コード 9784785329211          
NDC分類 549.8          

内容説明

本書は、これから量子ドットの研究を始める大学院の学生や研究者、技術者を対象に、30余年にわたる量子ドットの研究の膨大な蓄積により生み出された、多岐にわたる量子ドットの光学的性質とその応用に関する研究の最前線の内容を紹介している。

目次

人工原子、量子ドットとは何か
量子ドットの形成 量子サイズ効果
エネルギー離散化と反転分布―レーザーへ
表面を通じた化学結合―蛍光イメージプローブへ
外界との相互作用―光多重メモリーへ
量子ドットの光非線形―光スイッチ、高効率太陽電池へ
電子状態のコヒーレンスとコヒーレント制御―量子計算へ
スピンに依存したエネルギー微細構造とスピン緩和時間
量子力学の応用―量子計算と量子通信
量子ドットの太陽電池と発光ダイオードへの応用

著者紹介

舛本泰章[マスモトヤスアキ]
1948年広島県生まれ。1977年東京大学大学院理学系研究科物理学専攻博士課程修了、理学博士取得。1977年〜1986年東京大学物性研究所。1986年〜2013年筑波大学物理学系助教授、同教授を経て数理物質系物理学域教授。2013年〜筑波大学名誉教授。専攻、半導体の光物性実験。研究テーマ、半導体量子構造のレーザー分光(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたもの)




関連項目






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