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図1


レーザ励起ドット転写法

 従来のレーザー転写法では、パルスレーザーを原料膜/透明支持板界面に結像し、原料の光吸収エネルギーを駆動力に、対向基板に原料を膜形状のまま堆積 する。微細パターン転写でき、シングルパルス現象のため低フォトンコストかつ高速プロセスであり、有用な微細構造作製法である。更に、原料が固体のため材料選択自由度が高く、液体原料を要するインクジェット法とは一線を画す。しかし、原理上結像と堆積物が同サイズであり、一層の微細化は難しかった。
 そこで我々は、レーザー誘起微小液滴を転写するレーザー誘起ドット転写法を開発し、結像スポットより遥かに小さなナノ・マイクロドットアレイの作製に成功している。従来の膜転写と異なり、原料膜をレーザーで一部溶融化し、各結像スポットから単一のレーザー誘起微小液滴として放出、対向基板に堆積させる(図1)。この液滴形成機構の詳細検討を経て、液滴サイズの原料膜厚やレーザー照射条件による制御を可能にしたことにより、本技術の開発に至っている。これまでに2種の転写システムを構築しており、図1のマスク縮小露光型を用いると104個のドットを一括転写でき、全固体レーザー/ガルバノミラーを用いた系ではマスクレスパターン形成ができる。

事例|β-FeSi2ナノ・マイクロドットアレイの作製




脚注およびリンク






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